金属防腐清洗剂广泛应用于化学机械抛光、刻蚀、沉积以及其它保护步骤中,该清洗液降低了对后续工艺的干扰,大大降低了金属材料的表面点蚀,减低了表面腐蚀程度。从而降低了缺陷,提高了清洗效率和产品优良率,增加了收益率,大大改善了金属表面的平坦度质量。
1.前言 该清洗液广泛应用于化学机械抛光、刻蚀、沉积以及其它保护步骤中,该清洗液降低了对后续工艺的干扰,大大降低了金属材料的表面点蚀,减低了表面腐蚀程度。从而降低了缺陷,提高了清洗效率和产品优良率,增加了收益率,大大改善了金属表面的平坦度质量。
将一定分量的各组分(有机羧酸化学添加剂(0~5)、有机膦酸化学添加剂(0~0.5)、有机磺酸化学添加剂(0~1)、氨基酸化学添加剂(0.5~5)、聚合物金属防腐抑制剂(10~5000mg/L)、含氮杂环化合物(0~1)、载体加至100混合均匀即可。
1)络合剂:一般选用氨基羧化合物及其盐、有机羧酸及其盐、有机膦酸及其盐的一种或多种。有机羧酸为柠檬酸、草酸、酒石酸、琥珀酸或马来酸中的一种或多种混合物;有机膦酸为烷基膦酸、苯基膦酸、1-羟基乙烯基-1,1-二膦酸、亚甲基磷酸、乙烯基二胺-4-亚甲基磷酸、环丁烷基三胺-5亚甲基膦酸或多氨基多醚基四亚甲基膦酸中的一种或多种的组合;有机磺酸为甲基磺酸、乙基磺酸、二甲基磺酸或丁基磺酸内酯的一种或多种的组合;含氮氨基酸为甘氨酸、丙氨酸、亮氨酸、异亮氨酸、胱胺酸、半胱氨酸、甲硫氨酸、苏氨酸、丝氨酸、苯丙氨酸、色氨酸、谷氨酸、天门冬氨酸、赖氨酸、中一种或多种。
2)防腐抑制剂:该清洗液中运用聚合物金属防腐抑制剂为聚丙烯酸类化合物、丙烯酸类化合物与苯乙烯的共聚化物、丙烯酸类化合物与顺丁烯二酸酐的共聚化合物、丙烯酸类化合物与丙烯酸酐类的聚化合物、膦酰基羧酸共聚物、中一种或多种;相对分子量为2000~3000000.其中较好的是相对分子量在5000~30000的聚丙烯酸。
1)压力1.0~2psi、抛光盘的转速50~70r/min、抛光头转速70~90r/min、抛光液流速200~300ml/min、抛光时间1~2min;
2)然后在压力1.5psi、抛光盘的转速25r/min、抛光头转速25r/min,使用本清洗液,流速300ml/min、抛光时间0.5~1min;
3)用清洗液及聚乙烯醇滚刷对晶片表面进行刷洗2min,滚刷转速为300r/min,清洗头转速280r/min,清洗剂液流量300 ml/min;
4)再用去离子水及PVA滚刷刷洗2min,滚刷转速为300r/min,清洗头转速280r/min,去离子水流量300ml/min.
成分 | 投料比 | 成分说明 |
柠檬酸 | 1~2 | |
苯基膦酸 | 0~0.5 | |
二甲基磺酸 | 0~1 | |
甲硫氨酸 | 0~0.05 | |
聚丙烯酸 | 100ml | |
水 | 加至100 |
投料比
成分说明
柠檬酸
1~2
苯基膦酸
0~0.5
二甲基磺酸
0~1
甲硫氨酸
0~0.05
聚丙烯酸
100ml
水
加至100
成分 | 投料比 | 成分说明 |
草酸 | 2~4 | |
丙烯酸甲酯与丙烯酰胺的星型共聚物 | 2~4 | Mn=3000 |
二丙二醇甲醚 | 1~3 | |
水 | 加至100 |
投料比
成分说明
草酸
2~4
丙烯酸甲酯与丙烯酰胺的星型共聚物
2~4
Mn=3000
二丙二醇甲醚
1~3
水
加至100
金属油污清洗剂、铝材清洗剂、超声波清洗剂、水基清洗剂、无磷清洗剂、发动机清洗剂、汽车清洗剂、电解脱脂剂、无磷脱脂剂、中性脱脂剂、铝酸脱脂剂、钢铁脱脂剂、水性脱脂剂、化学脱脂剂、除油王、常温除油剂、碱性除油剂、不锈钢除油剂、超声波除油剂、金属除油剂、酸性除油剂、电解除油粉、高温除油粉、无磷除油粉、化学除油粉。